真空燒結(jié)爐石墨件主要用于半導體元件和功率整流器件的燒結(jié)過程。它可用于真空燒結(jié)、氣體保護燒結(jié)和常規(guī)燒結(jié)。它是特種半導體設備系列中的一種新型工藝設備。設計理念新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，可在一臺設備上完成多種工藝流程。也可用于其他領域的真空熱處理、真空釬焊等工藝。那么我們來看看真空燒結(jié)爐遇到以下三種情況時可以采取的應急措施。
一、供熱電源停電
1、水壓，當水壓低于0.15MPa時，壓力表報警。
2.接地故障。
3.對于真空放電，水冷電極與加熱器的連接處必須連接牢固，最好與反射器絕緣。
4.如果爐內(nèi)壓力在13.3-66.5Pa(這個真空度容易放電)。停電和斷電的原因可以認為是介質(zhì)擊穿引起的放電。
二，停止充氣。
1.開始抽真空前，請確認充氣時間長或無法充氣時，氣體管道是否堵塞。
2.如果氣路沒有問題，檢查電磁閥和充氣閥的動作。為了安全起見，在檢查之前，應停止所有與之相關(guān)的設備。
3.當充入真空室的空氣無法停止時，當泄壓閥動作時，所有氣體系統(tǒng)包括供氣閥和管道都應關(guān)閉。
4.確認充氣管是否漏氣，漏氣會影響產(chǎn)品質(zhì)量。
三 ，停電
1.停電時，如果斷水，應立即接通備用冷卻水，并接通水源。
2.如果在非加熱、加熱和冷卻期間能盡快恢復，重新啟動設備。如果需要長時間繼續(xù)運行，請保持設備原樣。
3.如果在加熱和冷卻過程中可以盡快恢復，重新啟動設備。如果需要很長時間，就保持原樣，讓設備自然冷卻。