真空爐出現(xiàn)在20世紀(jì)30年代前后。1927年美國制成電工材料真空退火爐。1953年真空自耗電弧爐在工業(yè)上已用于熔煉海綿鈦。50年代前后真空感應(yīng)爐在工業(yè)上得到廣泛應(yīng)用。1960年美國研制成油淬真空爐。
真空爐一般由爐膛﹑電熱設(shè)備﹑密封爐殼﹑真空體系﹑供電體系和控溫體系等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成﹐可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為避免爐殼受熱后變形和密封材料受熱蛻變﹐爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內(nèi)。根據(jù)爐子用途﹐爐膛內(nèi)部裝有不同類型的加熱元件﹐如電阻﹑感應(yīng)線圈﹑電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內(nèi)裝有坩堝﹐有的還裝有自動(dòng)澆注設(shè)備和裝卸料的機(jī)械手等。真空體系主要由真空泵﹑真空閥門和真空計(jì)等組成。
由于真空爐的種類和型式許多，因而維護(hù)和檢修的項(xiàng)目各不相同，修理查看內(nèi)容應(yīng)根據(jù)爐子技能文件并可按實(shí)際需要分為每爐次、每日、每月，每半年和每一年進(jìn)行的項(xiàng)目。
對(duì)有氣鎮(zhèn)功能的真空泵，應(yīng)在每日開爐前查看并根據(jù)需耍敞開30min，以清掃泵油中的水分。
常常查看冷卻水、壓縮空氣、液壓體系的壓力以及冷卻水的活動(dòng)狀況。
真空爐爐膛內(nèi)的壓力能抽成低于大氣壓力的工業(yè)爐。真空爐用電加熱﹐被加熱的工件表面不氧化﹐不脫碳﹐變形小﹐機(jī)械性能好。用真空爐熔煉金屬有利于除掉雜質(zhì)﹐制品針孔少﹐偏析小﹑ 質(zhì)量好。真空爐適用于高質(zhì)量﹑高純度﹑難熔金屬的熔煉和加熱﹐例如用於鎢﹑鉬﹑鉭﹑鈮﹑鈦﹑耐熱合金鋼的鍛煉和磁性材料﹐電工材料﹑高強(qiáng)鋼﹑不銹鋼﹑工具鋼﹑模具鋼等的熱處理。
對(duì)爐門的橡膠密封件和法蘭面應(yīng)在關(guān)護(hù)門之前進(jìn)行查看，不能有砂粒和雜物，用千凈繃布擦洗橡膠密封圈及法蘭面，再均勻涂上真空脂后方可封閉爐門。
工件入爐處理前有必要清洗。油淬處理后應(yīng)將浸過油的料框、運(yùn)載部件上的油全部清洗潔凈。
風(fēng)冷電機(jī)一般為常用電機(jī)，在真空下不能建議一定要充氣往后才調(diào)建議并應(yīng)有電氣聯(lián)鎖維護(hù)設(shè)備維護(hù)。
羅茨泵應(yīng)在133Pa以上的真空度才調(diào)建議，也應(yīng)有電氣聯(lián)鎖維護(hù)設(shè)備維護(hù)。